北京市半导体装备产业发展现状与对策分析
作者：张晴晴
单位：北京市电子科技情报研究所
阐述国产半导体装备产业发展现状,北京市半导体装备产业发展现状,包括产业基础和布局、政策环境,半导体装备产业发展困局与对策分析。
DOI：
10.19339/j.issn.1674-2583.2021.01.003
关键词：
Array
所属期刊栏目：
工艺与制造
分类号：
F426.63
页码：
6-7
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